(1)金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料。(2)再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。(3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体，可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。(4)靶材输入电流及溅射时间可以控制，容易得到高精度的膜厚。(5)较其它制程利于生产大面积的均一薄膜。(6)溅射粒子几不受重力影响，靶材与基板位置可自由安排。(7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上，且由于溅射粒子带有高能量，在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜，同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。(8)薄膜形成初期成核密度高，可生产10nm以下的极薄连续膜。(9)靶材的寿命长，可长时间自动化连续生产。(10)靶材可制作成各种形状，配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产。主要用于在经予处理的塑料、陶瓷等制品表面蒸镀金属薄膜（镀铝、铬、锡、不锈钢等金属）、七彩膜仿金膜等,从而获得光亮、美观、价廉的塑料,陶瓷表面金属化制品。广泛应用于工艺美术、装璜装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、女式鞋后跟等领域,JTPZ多功能镀膜技术及设备（加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机），针对汽车、摩托车灯具而设计的，在一个真空室内完成蒸发镀铝和射频等离子体镀保护膜，这种镀膜后灯具具有“三防”功能。射频等离子体聚合膜还应用于光学产品、磁记录介质、军事国防保护膜；防潮增透膜；防锈抗腐蚀；耐磨增硬膜。用户选择在灯具基体上喷底漆、镀铝膜、镀保护膜或灯具基体在真空室进行前处理（不喷底漆）、镀铝膜、镀保护膜工艺。在ABS,PC,PBT,PE,PP,PA66等塑料基体上直接镀膜

真空蒸发镀膜机内存在着蒸发源，是用来加热靶材的，具体可以通过电阻式加热、感应加热、电子束加热、雷射加热、电弧加热这几个方面进行。其中电阻方式是用得最多的，因为其工作原理是最简单，通过电流使电阻升温来使靶材加热，容易操作，相应的设备构造不复杂，价格便宜。感应方式就是高频感应加热，通过高频电流感应，使靶材自身产生电流从而加热蒸发，这种方式效率高，速度快，由于是自己产生热量，所以大一点的靶材也可以很快的加热。电子束方式是对电子枪加以高压电流，产生电子束使蒸发源加热，这是一种可以产生极高温度的方式，达到3千摄氏度都没问题。雷射方式运用的是激光束，通过光学聚集，射在蒸发源上加热，与电子束区别在于激光束是以微细颗粒脱离，电子束是以分子脱离，雷射加热蒸镀的膜层品质更好。电弧方式运用的是弧光放电的方式加热，即使基板不加热也可以镀出很好的膜层，对于那些熔点高的金属或化合物也可以蒸镀，不会像电阻加热那样产生污染。以上这五种真空蒸发镀膜机加热方式各有各的优点，可以按照客户不同的需求来相应进行配置。

什么是真空镀？真空可镀什么产品？