真空镀膜机（真空镀膜装备）中的分散泵持续应用6个月以上，抽速就会显著变慢，或操纵恰当，充入大气，拆去联络水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆洗濯一遍，再用洗衣粉兑水洗濯一遍，然后用净水完全洗濯清洁，待水分挥发干今后，装好泵胆，参加新分散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便能够从新开机。在从新开机前，要留意检漏事情。启动保持泵，关好大门，数分钟后，察看分散泵部门真空度能否到达6X10帕，不然要停止检漏。反省联接处能否装密封胶圈，或压坏密封圈。消除漏气隐患后方可加热，不然分散泵油会烧环，无奈进入事情状况。　　真空镀膜机每实现200个镀膜法式以上，应清洁事情室一次。用烧碱（NaOH）饱和溶液重复擦洗真空室内壁，（留意人体皮肤不能够间接打仗烧碱溶液，免得灼伤）目标是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH产生反响，反响后膜层零落，并释放出氢气，再用净水洗濯真空室和用布沾汽油洗濯精抽阀内的污垢。　　当真空镀膜机（真空镀膜装备）粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）持续事情一个月（旱季减半），需更换新油。将泵内的旧油完整排放进去。拧回放油螺栓，参加新油至额定量（油视镜察看）。持续应用半年以上，换油时应将油盖关上，用布擦清洁箱内污垢。